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超聲波清洗在半導體行業中的應用

清洗產品：二極管、硅片等
主要清洗物質：細小塵埃顆粒

工藝難點：
1. 超聲波可能會損傷半導體零件
2. 半導體零件對潔凈度要求高
解決方法：采用高頻超聲清洗